三星SK海力士雙雙力推 DRAM制造進入EUV時代

　　韓國半導體行業正在準備迎接新的飛躍，全球DRAM市場領頭羊三星電子和SK海力士即將開啟“EUV DRAM”時代。據韓國科技媒體ETNews報道，三星電子全新半導體工廠“平澤2號”（P2）已于上月開始運營，這座當前世界上最大的半導體工廠將生產全球首個基于EUV的移動DRAM產品。

　　SK海力士方面，也已在加速推進其基于1a工藝的EUV DRAM產品量產計劃。SK海力士將在其下一代DRAM的生產基地M16芯片廠批量生產EUV DRAM，目前已經在園區內安裝了兩臺EUV光刻機。EUV是一種波長為13.5納米的短光源，其波長大約是今天廣泛使用的ArF光源的十分之一，能夠在半導體晶圓上刻畫出更加精細的電路。由于簡化了半導體制造工藝，EUV能夠將制造精細電路所需的光刻工藝減少一半，并大幅提高生產率。隨著EUV技術運用范圍的擴大，相關產業鏈公司有望迎來機遇。

　　相關EUV光刻機概念公司：

　　英唐智控(行情300131,診股)：擬收購的日本芯片半導體光刻機先鋒微電子的股份；

　　蘇大維格(行情300331,診股)：光刻設備主要為紫外光刻直寫設備，公司光刻機從設計、組裝以及所用軟件的開發，均由本公司自主完成，主要用于柔性電子、MEMS以及半導體上游器件等產品的研發與制造。