三星SK海力士雙雙力推 DRAM制造進(jìn)入EUV時(shí)代

　　韓國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)正在準(zhǔn)備迎接新的飛躍，全球DRAM市場(chǎng)領(lǐng)頭羊三星電子和SK海力士即將開啟“EUV DRAM”時(shí)代。據(jù)韓國(guó)科技媒體ETNews報(bào)道，三星電子全新半導(dǎo)體工廠“平澤2號(hào)”（P2）已于上月開始運(yùn)營(yíng)，這座當(dāng)前世界上最大的半導(dǎo)體工廠將生產(chǎn)全球首個(gè)基于EUV的移動(dòng)DRAM產(chǎn)品。

　　SK海力士方面，也已在加速推進(jìn)其基于1a工藝的EUV DRAM產(chǎn)品量產(chǎn)計(jì)劃。SK海力士將在其下一代DRAM的生產(chǎn)基地M16芯片廠批量生產(chǎn)EUV DRAM，目前已經(jīng)在園區(qū)內(nèi)安裝了兩臺(tái)EUV光刻機(jī)。EUV是一種波長(zhǎng)為13.5納米的短光源，其波長(zhǎng)大約是今天廣泛使用的ArF光源的十分之一，能夠在半導(dǎo)體晶圓上刻畫出更加精細(xì)的電路。由于簡(jiǎn)化了半導(dǎo)體制造工藝，EUV能夠?qū)⒅圃炀?xì)電路所需的光刻工藝減少一半，并大幅提高生產(chǎn)率。隨著EUV技術(shù)運(yùn)用范圍的擴(kuò)大，相關(guān)產(chǎn)業(yè)鏈公司有望迎來(lái)機(jī)遇。

　　相關(guān)EUV光刻機(jī)概念公司：

　　英唐智控(行情300131,診股)：擬收購(gòu)的日本芯片半導(dǎo)體光刻機(jī)先鋒微電子的股份；

　　蘇大維格(行情300331,診股)：光刻設(shè)備主要為紫外光刻直寫設(shè)備，公司光刻機(jī)從設(shè)計(jì)、組裝以及所用軟件的開發(fā)，均由本公司自主完成，主要用于柔性電子、MEMS以及半導(dǎo)體上游器件等產(chǎn)品的研發(fā)與制造。